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全自动硅片旋转冲洗甩干机(SG)

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联系人: 邹君
所在城市: 江苏省 无锡
详细地址: 新吴区硕放里河路12-1
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详细信息  
 

结构特点

1. 整个甩干过程一般只需5-6分钟;
2. 设备的外露面为进口PP板,外形美观,耐酸气腐蚀;
3. 工作腔、旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢,并且表面电化学抛光处理;
4. 旋转机构经过精密动平衡处理,保证工作时的平衡性;
5. 采用特种减振器,精密减振和阻尼,保证系统的稳定;
6. 采用了洁净化处理技术,阀门、接头和管道采用不锈钢、PFA高纯管件和聚四氟;
7. 采用油压缸自动开门关门, 平稳安全可靠; 
8. 采用油浴炉或气体加热器加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控,并显示在液晶屏上,并有双重安全保护;
9. 特制喷头和气液流体控制系统, 全自动切换;
10. 顶盖采用电加热板辅助加热,保证顶盖烘干后不滴水;
11. 工作腔采用防静电控制。

 

电气控制

1. 采用PLC可编程控制器和触摸屏控制,整个过程智能化;
2. 程序设计可靠, 速度调节、温度调节和时间调节等都可以在触摸屏上设定、修改和保存;
3. 采用变频技术控制转速,加减速平稳,清洗和甩干速度按工艺要求设定,并实时显示在液晶屏上;
4. 采用电子制动,制动时间控制在15秒之内;
5. 控制软件具有故障实时显示和报警功能;
6. 采用了工作过程状态监控,门位置状态监控与互锁,氮气加热温度实时监控,紧急停止按钮等安全措施。


技术参数

 

型号 model

半导体行业Semiconductor

太阳能行业 Solar

SG09

SG13

SG11

SG12

工作腔数量

4

4

8

8

硅片规格   mm

2.5", 3", 4", 5", 6",8"

12"

125,156 25片盒 

125,156 50片盒

旋转速度   r/min

0-1000

0-600

0-900

0-900

氮气压力

0.3

去离子水压力

0.3

电阻率监控

可选 optional

氮气密封 Nitrogen seal

有 Yes

空/氮气烘干

有 Yes

氮气加热方式

热传导 Heat exchange

氮气加热温度

30-120℃ PID控温 30-120℃ PID control

辅助加热系统

有 Yes

腔体电化学抛光

可选 optional

电机驱动

变频调速 Speed regulating by frequency conversion

控制系统

PLC可编程控制器 PLC

控制显示器

液晶触摸屏 LCD touch screen

外型尺寸(长x宽x高)mm

1040x1095x894

1636X1552X1007

1250x1296x970

1376x1296x1007

电源功率   kw

5

6

6

6

电压 / 频率

AC380V 50HZ (三相四线)  / AC380V 50HZ (3-phase)

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